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电子级氢氟酸质量指标

编辑:佛山市泓达化工有限公司  时间:2018-01-08

目前,因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。

产品包装方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。